| 작성일 | 제목 | 작성자 |
|---|---|---|
| 2019-12-18 14:58:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-12-12 15:51:00 | 주식명의개서정지(주주명부폐쇄) | 테스 |
| 2019-12-03 15:52:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (리프트핀유닛의 이동방법 및 기판처리장치) | 테스 |
| 2019-11-14 16:38:00 | 분기보고서 (2019.09) | 테스 |
| 2019-10-14 16:19:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-10-07 15:57:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (박막증착장치) | 테스 |
| 2019-10-04 16:08:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-09-04 15:03:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 방법) | 테스 |
| 2019-09-04 15:04:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (탄소 및/또는 보론를 포함하는 비정질 실리콘막의 형성 방법) | 테스 |
| 2019-08-14 16:12:00 | 반기보고서 (2019.06) | 테스 |
| 2019-07-10 09:30:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-06-13 13:42:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판검사방법 및 기판처리장치) | 테스 |
| 2019-05-02 10:45:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (에칭방법) | 테스 |
| 2019-04-23 13:57:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-03-21 | 감사보고서제출 | 테스 |
| 2019-03-20 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-03-20 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-03-15 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-03-13 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-03-12 | 참고서류 | 테스 |
