| 작성일 | 제목 | 작성자 |
|---|---|---|
| 2020-12-28 15:53:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-12-24 09:44:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-12-21 13:25:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-12-18 10:04:00 | 현금ㆍ현물배당결정 | 테스 |
| 2020-12-16 16:19:00 | 주식명의개서정지(주주명부폐쇄) | 테스 |
| 2020-11-13 13:16:00 | 분기보고서 (2020.09) | 테스 |
| 2020-11-10 16:00:00 | [기재정정]단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-09-25 15:07:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-09-17 16:24:00 | 신탁계약해지결과보고서 | 테스 |
| 2020-09-17 16:14:00 | 주요사항보고서(자기주식취득신탁계약해지결정) | 테스 |
| 2020-09-04 16:18:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (유기금속화학기상증착장치) | 테스 |
| 2020-09-04 16:18:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (냉각모듈 및 이를 구비한 기판지지유닛) | 테스 |
| 2020-09-04 16:13:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판처리장치) | 테스 |
| 2020-08-10 16:11:00 | 반기보고서 (2020.06) | 테스 |
| 2020-06-22 14:30:00 | [기재정정]단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-06-18 17:08:00 | 신탁계약에의한취득상황보고서 | 테스 |
| 2020-06-03 16:18:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화) | 테스 |
| 2020-06-03 16:18:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화) | 테스 |
| 2020-05-26 14:03:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-05-12 15:39:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판처리장치) | 테스 |
