| 작성일 | 제목 | 작성자 |
|---|---|---|
| 2020-09-04 16:13:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판처리장치) | 테스 |
| 2020-08-10 16:11:00 | 반기보고서 (2020.06) | 테스 |
| 2020-06-22 14:30:00 | [기재정정]단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-06-18 17:08:00 | 신탁계약에의한취득상황보고서 | 테스 |
| 2020-06-03 16:18:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화) | 테스 |
| 2020-06-03 16:18:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화) | 테스 |
| 2020-05-26 14:03:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-05-12 15:39:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판처리장치) | 테스 |
| 2020-05-12 13:25:00 | 분기보고서 (2020.03) | 테스 |
| 2020-05-07 16:11:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (가스공급유닛) | 테스 |
| 2020-04-29 15:03:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-04-28 14:25:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-04-02 17:00:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판지지유닛 및 이를 구비한 기판처리장치) | 테스 |
| 2020-03-30 13:49:00 | 사업보고서 (2019.12) | 테스 |
| 2020-03-23 13:44:00 | 정기주주총회결과 | 테스 |
| 2020-03-17 13:21:00 | 주요사항보고서(자기주식취득신탁계약체결결정) | 테스 |
| 2020-03-13 16:18:00 | 감사보고서제출 | 테스 |
| 2020-03-06 15:49:00 | 참고서류 | 테스 |
| 2020-03-06 15:40:00 | 주주총회소집공고 | 테스 |
| 2020-03-06 15:20:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
