| 작성일 | 제목 | 작성자 |
|---|---|---|
| 2020-05-12 13:25:00 | 분기보고서 (2020.03) | 테스 |
| 2020-05-07 16:11:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (가스공급유닛) | 테스 |
| 2020-04-29 15:03:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-04-28 14:25:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-04-02 17:00:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판지지유닛 및 이를 구비한 기판처리장치) | 테스 |
| 2020-03-30 13:49:00 | 사업보고서 (2019.12) | 테스 |
| 2020-03-23 13:44:00 | 정기주주총회결과 | 테스 |
| 2020-03-17 13:21:00 | 주요사항보고서(자기주식취득신탁계약체결결정) | 테스 |
| 2020-03-13 16:18:00 | 감사보고서제출 | 테스 |
| 2020-03-06 15:49:00 | 참고서류 | 테스 |
| 2020-03-06 15:40:00 | 주주총회소집공고 | 테스 |
| 2020-03-06 15:20:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-03-04 15:49:00 | 주주총회소집결의 | 테스 |
| 2020-02-24 15:45:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-02-06 16:30:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (박막증착장치) | 테스 |
| 2020-02-06 16:30:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판처리장치) | 테스 |
| 2020-02-05 16:05:00 | 매출액또는손익구조30%(대규모법인은15%)이상변동 | 테스 |
| 2020-01-03 15:46:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (박막증착장치) | 테스 |
| 2019-12-30 15:41:00 | [기재정정]현금ㆍ현물배당결정 | 테스 |
| 2019-12-20 14:00:00 | 현금ㆍ현물배당결정 | 테스 |
