(2) 특허 주요 내용 : 본 발명은 팬 필터 유닛 장치에 관한 것으로 팬 필터 유닛 내부와 필터 하단부인 클린룸의 압력을 측정하여 차압을 통해 팬 필터 유닛의 풍속을 일정하게 유지시켜주는 장치에 관한 것입니다. 팬필터 유닛 내부에 설치된 차압 측정 센서의 외부 결합부는 팬 필터 유닛 하우징 외부에 설치된 피팅과 필터 프레임에 관통 설치된 피팅을 통해 튜브로 필터 하부와 연결되어 있습니다. 이렇게 연결된 차압 센서를 이용하여 팬 필터 유닛의 내부 및 필터 하부 클린룸 하부 간의 차압을 측정할 수 있습니다. 이렇게 측정된 차압 값을 이용하여 팬 필터 유닛의 풍속을 일정하게 제어 가능합니다. 작업자가 쉽게 설치 및 유지보수가 가능하도록 차압 측정 센서와의 외부 연결 부분은 하우징의 외측에 구비하여 작업자가 쉽게 접근할 수 있도록 하였으며 사용되는 튜브의 연결 방식은 원터치 피팅을 사용하여 공구 없이도 설치 및 유지 보수가 가능한 것이 장점입니다. 상기 발명을 통해 클린룸 내부의 압력이 일정하지 않아도 클린룸 내부에 설치된 팬 필터 유닛의 풍속은 일정하게 유지가 가능 하며 클린룸 기류 개선 및 에너지를 절감이 가능한 것이 본 발명의 목적입니다.
