(1) 특허 명칭 : 케미컬필터 일체형 팬 필터 유닛 (INTERNAL CHEMICAL FILTER FAN FILTER UNIT)
(2) 특허 주요 내용 : 본 특허에 따른 케미컬필터 일체형 팬 필터 유닛은 제품 내부에 케미컬필터를 삽입하여 클린룸에 발생되는 가스를 제거하고 동시에 청정공기를 클린룸 내부에 공급하는 기술을 바탕으로 개발한 발명입니다. 본 특허는 기존에 팬필터 유닛 상부에 설치되어 있는 케미컬필터를 내부로 삽입하여 클린룸 상부 층고 부족 문제를 해결합니다. 케미컬필터가 내부에 삽입되어 있어 작업자의 안전성 확보와 외부의 충격으로부터 케미컬필터를 보호 할 수 있습니다.